本報(bào)訊 （鐘 云）日前，由江蘇省計(jì)量科學(xué)研究院（以下簡(jiǎn)稱“江蘇省計(jì)量院”）申報(bào)的“高深寬比微結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)樣板的制備與溯源研究”獲批立項(xiàng)市場(chǎng)監(jiān)管總局科技計(jì)劃項(xiàng)目。

該科研項(xiàng)目致力于服務(wù)我國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)自主研發(fā)的高深寬比微結(jié)構(gòu)無(wú)損測(cè)量?jī)x器在全球市場(chǎng)的技術(shù)準(zhǔn)入，有助于破解半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備被國(guó)外廠商壟斷的不利局面，推動(dòng)我國(guó)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主健康發(fā)展。

該項(xiàng)目面向半導(dǎo)體領(lǐng)域，重點(diǎn)針對(duì)MEMS器件、TSV封裝中高深寬比微結(jié)構(gòu)的測(cè)量，解決各類型測(cè)量?jī)x器設(shè)備的線寬、深度參數(shù)尺度無(wú)法統(tǒng)一、精度無(wú)法溯源問(wèn)題，開展高深寬比微結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)樣板的制備和溯源研究。

據(jù)江蘇省計(jì)量院相關(guān)人員介紹，高深寬比微結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)樣板將滿足技術(shù)方案各異、工作原理不同的高深寬比微溝槽、TSV高深寬比微孔槽無(wú)損測(cè)量?jī)x器設(shè)備的精確校準(zhǔn)需求，實(shí)現(xiàn)對(duì)深度、線寬等關(guān)鍵尺寸的科學(xué)溯源。

《中國(guó)質(zhì)量報(bào)》【市場(chǎng)監(jiān)管科技之窗】